9012109000
ЕЭК (РОССИЯ) (по состоянию на 12.04.2024 г.)
Двулучевая система ... представляет собой электронно-ионную систему микроскопии для проведения исследований и характеризации металлических, полупроводниковых, керамических, полимерных, композитных материалов в научных лабораториях. В состав двулучевой системы входят: двулучевой сканирующий электронно-ионный микроскоп ... (состоит из основного блока микроскопа с устройствами подъема оборудования, рабочего стола оператора с боксом для переноса образца, основной и вспомогательной рабочих станций микроскопа с устройствами визуализации, форвакуумного насоса, блока водяного охлаждения, воздушного компрессора, блока управления электропитанием); энергодисперсионный спектрометр с твердотельным кремниевым дрейфовым детектором; анализатор дифракции обратно-рассеянных электронов (с рабочей станцией и устройством визуализации). Поставляется в комплекте с программным обеспечением; комплектами кабелей, инструментами, крепежными элементами и материалами в количестве, необходимом для соединения, монтажа и пуско-наладки оборудования. Принцип действия: образец помещается в вакуумную камеру микроскопа на гониометрический столик для образцов на различных специальных держателях; в верхней части электронно-оптической колонны с помощью электронного источника, электронных линз и корректора сферических аберраций формируется узкий пучок электронов, который фокусируется на поверхности образца; электроны пучка взаимодействуют с атомами образца теряя энергию и вызывая различное вторичное электронное излучение, которое характеризует состав, форму, кристаллические и другие свойства образца в точке падения пучка; при сканировании пучком заданной области на поверхности регистрация вторичного излучения позволяет получить изображение (растровое) выбранного участка поверхности; применение методики послойного травления поверхности образца при помощи сфокусированного ионного пучка позволяет получать трехмерные изображения и карты элементного состава исследуемых объектов; электронно-оптическая и ионная коолонны могут применяться одновременно. Энергодисперсионный спектрометр (устанавливается на вакуумную камеру электронного микроскопа) предназначен для качественного и количественного анализа элементного состава образцов при помощи электронного сканирующего микроскопа; последующая обработка данных спектрометра позволяет сделать вывод о наличии в образце атомов того или иного рода и составить карту распределения атомов по образцу. Анализатор дифракции обратно-рассеянных электронов с флуоресцентным экраном и цифровой СМОS камерой (устанавливается на вакуумную камеру электронного микроскопа) предназначен для определения локальной кристаллографической ориентации образца при помощи электронного сканирующего микроскопа (регистрация и расшифровка картины дифракции отраженных электронов в точке, картирование по поверхности образца, картирование с синхронным анализом элементного состава при помощи спектрометра). Анализатор дифракции обратно-рассеянных электронов с флуоресцентным экраном и цифровой СМОS камерой (устанавливается на вакуумную камеру электронного микроскопа) предназначен для определения локальной кристаллографической ориентации образца при помощи электронного сканирующего микроскопа (регистрация и расшифровка картины дифракции отраженных электронов в точке, картирование по поверхности образца, картирование с синхронным анализом элементного состава при помощи спектрометра).